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2014.07.25

成膜の思わぬ落とし穴。確実に捉えて原因を究明したい。 D大学 次世代薄膜 研究室T ナノサーチ顕微鏡

お困りごと

成膜の思わぬ落とし穴。確実に捉えて原因を究明したい

画像研究室Tでは、次世代の薄膜に関する研究を行っていました。安定した成膜方法の確立を目指していたのですが、その過程においていくつかの課題を抱えていました。

高分子化合物と溶液を混合させるのですが、最適な混合具合がわかりませんでした。また、同じ製法で作っても、良品と不良品が出て品質が安定しません。不良品の中には寿命が短くなるものもありました。この研究室ではそれらの原因を解明できずにいたのです。

研究室で保有するプローブ顕微鏡で観察をしていましたが、付属する光学ユニットの解像力が低いため、微小な対象物を見つけるのに時間がかかっていました。
「ようやく見つけた微小な欠陥であっても、その位置へピンポイントにカンチレバーを下ろすことができないため、その微小な欠陥を観察、測定することができませんでした」と担当のE氏は振り返ります。
この繰り返しで時間ばかりが過ぎ、原因究明はできずにいました。

課題のポイント
  • 成膜品質が安定しない原因を特定できない

  • 観察・測定・分析ができないので、何が起きているのかが分からない

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