ホーム - 導入事例 - 電子部品メーカーL社 R&D部門

2011.12.19

通常の観察では見えないナノオーダーの欠陥を短時間で検出・解析する画期的な顕微鏡とは! 電子部品メーカーL社 R&D部門 ナノサーチ顕微鏡

お困りごと

光学顕微鏡とAFMを併用した検査。測定に時間がかかり過ぎて製品開発が遅れる!?

画像マルチメディア機器においては、総じて大容量化が進む一方で、テレビなら薄型化、携帯端末では小型化と、機器の用途によりニーズが複雑化しています。電子部品メーカーにとっては、そうした個々のニーズにいかに迅速に対応できるか、高性能な部品をいかに安定供給できるかで、継続取引の明暗が分かれる厳しい時代となっています。

電子部品メーカーL社も、全社をあげてさまざまな改革に取り組んでいます。業界ニーズが変化するスピードについていくだけでも大変ですが、最近は特に、大手取引先からの緊急依頼が増えていました。短納期だけではなく、内容も高度で、スタッフは常に時間に追われています。

サブミクロンの誤差も許されない。時間と求められる精度が大きな壁に

中でも、“数ナノメートル”という非常に微細な管理の必要な部品は、かなり高いハードルでした。「サブミクロン」すなわち1万分の1ミリメートル程度のちょっとした誤差でも、製品の品質に影響が出てしまい、欠陥とみなされてしまいます。L社では従来、製品の検査に光学顕微鏡を使用していました。しかし、今回のように“数ナノ”というレベルになると、光学顕微鏡でも微分干渉でのみ観察することができます。

アルミディスク セクターマーク

アルミディスク セクターマーク

そこで、最初に光学顕微鏡を使って表面の異物や傷の有無を調べ、何か欠陥が見つかった場合、その検査品をAFM(原子間力顕微鏡)に載せ替えて細かく測定・解析しています。光学顕微鏡で異物や傷を探すまではよいのですが、せっかく見つけた欠陥個所をAFMであらためて特定するのに、1時間以上という膨大な時間を要していました。

やっとの思いで欠陥個所を特定しても、AFMの探針を欠陥に合わせるのに多くの時間を費やし、「求められている検査を期日までに完了できない。本来なら解析時間を多くとりたいのに、この方法では測定だけで終わってしまう・・・」開発部門マネージャーのYさんは、大きな焦りを感じました。

※1ミクロン(μm)=1マイクロメートル(μm)=0.001ミリメートル(mm)、1000分の1ミリメートル、
1ナノメートル(nm)=0.001μm=0.000001mm

1 2