ホーム - 導入事例 - 液晶パネルメーカーY社 研究開発部門

2012.05.31

ナノレベルの高さに最適!ミリからナノまで計測できるナノサーチ顕微鏡とは。 液晶パネルメーカーY社 研究開発部門 ナノサーチ顕微鏡

お困りごと

SEMだと高さを測れない。レーザー顕微鏡だと分からない

液晶テレビのバックライトには蛍光管が使われていますが、最近ではLEDが一般的になってきました。バックライトにLEDを使うと、薄型化/軽量化しやすい、瞬時に点灯し寿命が長い、省電力で環境にやさしいといった数多くのメリットがあるからです。

画像Kさんは液晶パネルメーカーのY社で、開発を担当するエンジニアです。最先端の開発を行う現場では、少しでも明るく長寿命にするため、LEDを使ったバックライトの構造をナノレベルで管理するようになっています。中でも、非常に微細な構造を形成した拡散板は、Kさんにとって特に重要な研究テーマです。

この研究を進めていく上では、微細形状を正しく測定し、把握することが大前提となります。しかし、Y社にあるSEM(電子顕微鏡)では、形状の観察はできますが、高さ方向の測定ができません。高さ方向の測定ができるレーザー顕微鏡もありますが、0.2μm程度の溝では性能の限界からか、あるはずのない形状が表示されてしまい信頼することが出来ません。

レーザー顕微鏡でのノイズのある測定結果(イメージ図)

レーザー顕微鏡でのノイズのある測定結果(イメージ図)

現在ある装置では、どのような条件だと正しく加工ができているのか正確に把握できず、開発に支障が生じてしまいます。Kさんは正確に測定ができないことに焦りと苛立ちを感じていました。

1 2