ホーム - 最新技術トレンド - オリンパスならではの画期的な新技術!極薄ウエハを安全に搬送できるウエハローダ - 【後編】

2009.05.07

オリンパスならではの画期的な新技術!極薄ウエハを安全に搬送できるウエハローダ 【後編】技術のブレークスルーで難題を克服した次世代ウエハローダ

極薄ウエハイメージ

極薄ウエハイメージ

技術開発の激しい昨今では、携帯電話など最終製品の小型化、薄型化が急速に進んでいます。これに伴い、そのコア部品である半導体も小さく、また薄くすることが求められるようになりました。特にウエハは90μmの“薄さ”にまでとなると、それはまるで紙のよう(紙の厚みはおよそ100μm)。このような極薄ウエハをカセットにセットすると、中心部がたわんでしまいます。

従来のウエハローダが極薄ウエハを搬送しようとすると、このたわみによってウエハローダの「アーム」が接触し割れてしまうのです。

難題を克服した、新しいウエハローダ

長くウエハローダを開発してきたオリンパスでは、ユーザーが薄いウエハへとシフトしていくのを実感していました。そこで、「極薄ウエハを安全に搬送する」という目標に対し、オリンパスならではの技術を結集し、ハードウエアを全面的に見直すことにしました。その結果、ウエハローダの新時代を切り拓く、画期的な技術を開発することができたのです。

まず、極薄ウエハを安全に搬送するため、“要の部品”である「アーム」形状を従来と大きく変え、棒状の2本としました。アーム2本でウエハを持ち上げる方式は、オリンパスだけの技術です。この斬新な形状のアームにより、従来では対応できなかった極薄ウエハのたわみに、柔軟に対応できるようになりました。

新方式は極薄ウエハのたわみにも対応

新方式は極薄ウエハのたわみにも対応

たわんだままの状態でウエハを取り出し、再び収納することができるアームの開発には、もっとも苦心しました。しかし、当社の開発陣は、長くウエハローダを開発してきた経験から、アームがウエハのどの部分を持つのが一番安全かを知っていました。机上でいろいろ検討し、さらに実験で確認した後に、ウエハの両脇を持つことを新しい方式として決めました。

アームの形を変えれば、そのほかの部品も全部見直すことになります。しかし、極薄ウエハを安全に搬送するという目標を達成するため、スタッフは一丸となって開発に取り組みました。

ここから、新たに開発されたウエハローダの特長をご紹介します。

新たに開発された極薄ウエハ対応ウエハローダ

新たに開発された極薄ウエハ対応ウエハローダ

裏面マクロ360°傾斜イメージ

裏面マクロ360°傾斜イメージ

まず、センサーでカセット内の状況を検知することにより、安全性を向上しました。どの厚みのウエハがセットされているかを自動検出するとともに、斜めにセットされたウエハがないかといった、人によるミスを排除することも可能です。

また、ウエハを目視検査するマクロ検査では、ウエハを360°回転させることができるようになりました。これにより表面、裏面と連続して観察することができ、エッジ周辺部もより観察しやすくなりました。

操作性向上を実現したコントロールパネル

操作性向上を実現した
コントロールパネル

このほかにも、操作性を向上するために、液晶による表示部やUSBインターフェースを新たに設置しました。万一使用中にエラーが発生した場合にも、USB経由でエラーの状況を出力できるので、問題の早期解決や再発防止に役立ちます。

ウエハローダのこれから

セミコン・ジャパンで寄せられた声によると、極薄ウエハのニーズは業界を問わず、これからも高まっていくと予想できます。オリンパスは今後も、極薄ウエハに関する個別のご相談に応じながら、市場のニーズを製品に反映していきます。

また、今後はより拡張性のあるシステムを提案していきたいと考えています。
例えば、光学顕微鏡では見えないさらなる微小箇所の観察が必要な場合は、ウエハローダとレーザー顕微鏡と組み合わせることも考えています。
さらに将来的には、「MEMS」のような特殊なウエハの搬送も視野に入れつつ、ウエハローダの技術開発を進めています。

オリンパスでは、LEDなどに使用される2インチ程度の小径ウエハから12インチ(300mm)ウエハまで、さまざまな径に対応できるウエハローダを取り揃えています。そのほか素材についても、シリコン以外の特殊材料で作られたウエハにもオリンパスは対応します。
ウエハローダに関するお困りごとがあれば、ぜひ、オリンパスにお問い合わせください。

お問い合わせ
1
オリンパスならではの画期的な新技術!極薄ウエハを安全に搬送できるウエハローダ 連載一覧

【前編】時代のニーズに合わせて開発を続けたオリンパスのウエハローダ

【後編】技術のブレークスルーで難題を克服した次世代ウエハローダ